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碳化硅燒結(jié)爐有哪些配置？

碳化硅燒結(jié)爐整體可大致分為六大組成部分為：爐體、加熱室、充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。

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