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真空沉積爐定義


       真空沉積爐是用于制備碳碳復(fù)合材料,沉積爐主要用于石墨、半導(dǎo)體器件、耐熱沖刷材料的表面熱解炭涂層制備。


       采用高溫鉬管為熱電偶保護(hù)管,提高熱電偶使用溫度及延長使用壽命。

       氣相沉積功能+真空燒結(jié)爐設(shè)計(jì),采用石墨碳管為發(fā)熱體,碳?xì)譃楸貙印?/span>


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