石墨爐原子化器由加熱電源、保護氣控制系統(tǒng)和石墨管狀爐組成。加熱電源供給原子化器能量，電流通過石墨管產(chǎn)生高熱高溫，溫度可達到3000℃。

　　保護氣控制系統(tǒng)保護石墨管不被燒蝕，內(nèi)氣路中Ar氣從管兩端流向管中心，由管中心孔流出，以有效地除去在干燥和灰化過程中產(chǎn)生的基體蒸氣，同時保護已原子化了的原子不再被氧化。

      在原子化階段，停止通氣，以延長原子在吸收區(qū)內(nèi)的平均停留時間，避免對原子蒸氣的稀釋。石墨爐原子化器原子化在石墨管中進行。

　　許多元素的相對靈敏度可達`10^(-9)`～`10^(-12)`克/毫升，絕對靈敏度為`10^(-10)`～`10^(-13)`克。與其它幾種非火焰法相比，適用元素較多，穩(wěn)定性較好，應(yīng)用較廣。